Druck have a strong pedigree providing high performance pressure sensors and pressure modules into critical equipment OEM supplying silicon wafer fabrication, semiconductor manufacturing and photovoltaic assembly.
Druck’s unique high precision and highly stable pressure sensing technologies are highly regarded to provide the necessary performance in demanding silicon fabrication processes. Druck’s capability to provide customised solutions has resulted in long term supply of pressure sensing technology for use in gas delivery, mass flow controllers, pressure controllers, lithography, etching, wafer cooling, and vapour deposition applications. Furthermore, Druck have sensors specifically designed to operate in the semiconductor industry with SEMI F20 pressure fittings meeting the industry specifications.
Calibration of pressure and flow equipment for the semiconductor industry is essential for high yields and minimal downtime. Druck pressure calibration equipment leads the industry in accuracy, reliability and speed, to provide the efficiency expected in the industry.
1972年以来、Druckは産業、航空宇宙、石油・ガス、研究 環境における重要なアプリケーションに対応する能力を備えた 精密圧力センサを製造してきました。Druckは、お客様の 要件を満たすために、圧力センサの性能を継続的に 開発・改善してきました。 RPS/DPS 8000は、10年以上前にTERPS技術を 初めて組み込んだ製品です。TERPSは、現在の 圧力測定技術よりも桁違いに優れた精度と安定性を 提供する共振シリコン圧力センサ技術プラットフォームです。 TERPS技術は、圧力範囲能力を高圧まで拡…
Druckは1972年以来、産業、航空宇宙、石油・ガス、研究環境 における重要用途 に対応できる精密圧力 センサーを製造してきました。現在もDruckは、お客様の要件に応えるため、圧力 センサーの性能開発と改善に継続的に取り組んで います。 RPS/DPS 8100は、画期的なTERPS テクノロジーを搭載しています。 TERPSは共振シリコン圧力センサー の技術プラットフォームで、現行の標準的な 圧力測定技術と比べて桁違いの 精度と安定性を提供します。 TERPSによる性能・パッケージングの 改善に加…
DPI610Eハンドヘルド圧力校正器は、DPI600ファミリーの最新かつ第6世代のモデルです。DPI610Eは、容易な圧力測定・発生、信号測定、ループ電源機能に加え、大幅に向上したポンプ性能と、タッチパネルおよびボタンによる強力なユーザーインターフェースを兼ね備えています。現場の意見を取り入れて設計された堅牢な本装置は、計装技術者に最適であり、試験および校正用途における理想的なソリューションです。
Druck独自のTERPS®（溝エッチング共振式圧力センサー）技術を中核に採用したことで、CM3は当社のコントローラーにかつてない計量特性とパフォーマンスをもたらします。 TERPS®は、他の圧力センサーでは類を見ない精度、安定性、信頼性、堅牢性を兼ね備えた共振式シリコン圧力センサー技術プラットフォームです。 TERPS®はセンサーの校正時間を短縮すると同時に、ハードメディアアイソレーションを備えた堅牢な構造により、過酷な環境下でもデータ品質とラボレベルの精度を維持します。
ADROIT6000およびADROIT6200は、高 性能で堅牢な圧力測定 デバイスです。マイクロマシニング・シリコンの優れた機械 特性と 最新のデジタル処理能力を組み合わせ、 この種のデバイスでは従来得られなかった 精度レベルを提供します。ゲージ、 絶対、差圧リファレンスを含む 圧力測定のフルラインアップを 備え、圧力レンジは68 mbar～700 barです。
UNIK5000-UHPは、半導体、太陽エネルギー、LCD/LED製造業界の厳しい要求に応える高性能超高純度圧力センサです。 Druckの信頼性の高いUNIK5000プラットフォームをベースに構築されたこの新しいセンシングソリューションは、清浄性と精度が最重要となる環境において、卓越した精度、長期安定性、堅牢な信頼性を提供します。
DruckのDPI140高精度デジタル気圧インジケーターは、振動筒型圧力センサーを使用して0～3.5 bar絶対圧の読み取りを可能にしていました。トランスファー標準精度は±0.02% rdg ±0.01% FSでした。DruckのDPI 141は…
DPI 142は、データロギングおよび情報システムへの統合を目的に設計された高精度の気圧指示計です。共振式圧力センサを搭載し、長期安定性に優れ、移送校正標準または社内基準として使用できます。気圧測定、バログラフのトレンド、高度表示、リーク試験のための使いやすいメニューを備えています。…
DruckのDPI 145多機能圧力インジケータは、ピエゾ抵抗および共振シリコンセンサ技術を1つの高精度圧力インジケータに統合しました。産業界全体のワークショップやラボでの幅広い用途向けに設計されました。圧力範囲は…
DruckのDPI 510高精度圧力コントローラ／キャリブレータは、当時の最先端技術とDruckの経験を活かし、あらゆるスケール単位で圧力バルブの表示・制御を行うデジタル圧力計器を実現しました。プログラム可能で汎用性と安定性に優れ、1台で総合的な校正機能を提供できるコントローラでした…
DruckのDPI 515精密圧力コントローラ/キャリブレータは、当時の最新測定・制御技術を1台のコンパクトで機能的な機器に搭載していました。マルチプロセッサ、高度なソフトウェア、エリアディスプレイなどの機能により、DPI515…
DruckのDPI 530デジタル圧力コントローラーは、Druckの圧力指示計と組み合わせて使用できる高速応答デジタルクローズドループ圧力コントローラーでした。DPI 530は、安定した圧力源を必要とするアプリケーション向けの経済的なソリューションでした。測定範囲は…
DruckのDPI 601シリーズポータブルデジタル圧力校正器は、マイクロプロセッサベースの堅牢なポータブルバッテリー駆動機器で、主電源が利用できない遠隔地での使用を想定して設計されました。20 barおよび400 barの圧力発生機能を備え、本質安全防爆仕様も…
DruckのマルチチャンネルDPI 602は、広いダイナミックレンジでの試験が必要な用途でDPI 601シリーズを補完しました。DPI 601の仕様はDPI 602にも適用され、外部トランスデューサ用の追加機能を備えています。
DruckのDPI 603は、当時の堅牢なポータブル電池駆動校正器のラインアップを拡充した、コスト効率に優れたポータブル圧力校正器です。電源のない遠隔地での使用を想定して設計されました。内蔵ハンドポンプにより試験圧力を発生可能です…
DruckのDPI 605高精度ポータブル圧力校正器は、電気計測・電源供給機能、圧力・真空の発生、データ処理などの機能を備えていました。指示値の0.05%の精度を提供し、ゲージ圧で-1～+20 barの範囲に対応しました。
DruckのDPI 610/615ポータブル圧力校正器は発売後、堅牢で現場対応の1台に圧力発生と電気測定を統合したことで、ポータブル圧力校正の業界標準となりました。重くかさばる箱型筐体で電気機能が限定的、旧式ポンプ技術により操作により多くの労力と時間を要した、長年愛用されたWally Boxに代わる製品として…
DruckのPACE6000精密圧力コントローラは、産業用または実験室用途における精密な圧力制御のために設計されました。その汎用性と機能性により、ユーザーは特定の要件に合わせて構成およびカスタマイズすることができました。
DruckのPDCR 450 CANbus デジタル出力圧力トランスデューサは、CANbusシリアル通信インターフェースを備えた最先端のデジタル出力圧力トランスデューサでした。最適なトランスデューサ性能が不可欠で、かつお客様固有の要件にも対応できる多くの用途に最適でした。100mbar～700 barのレンジに対応し、広い温度範囲で高精度を実現しました…
DruckのPMP 4000増幅出力圧力トランスデューサは、当時最新の高レベル出力圧力トランスデューサ製品群でした。このシリーズは、産業用および自動車用テストセル市場の需要を満たすよう設計されていました。±0.04%の精度を提供し…
Druckは、圧力トランスデューサに共振構造を用いる著名な技術を確立し、1990年代に共振式圧力トランスデューサシリーズを開発しました。シリコンの採用により、低い製造コストで高精度・高安定性を実現。OEMまたは産業用途の形態での使用を想定して設計され…
