Wafer Fabrication Solutions

Druck have sensors specifically designed to operate in the semiconductor industry

Druck have a strong pedigree providing high performance pressure sensors and pressure modules into critical equipment OEM supplying silicon wafer fabrication, semiconductor manufacturing and photovoltaic assembly.

Druck’s unique high precision and highly stable pressure sensing technologies are highly regarded to provide the necessary performance in demanding silicon fabrication processes. Druck’s capability to provide customised solutions has resulted in long term supply of pressure sensing technology for use in gas delivery, mass flow controllers, pressure controllers, lithography, etching, wafer cooling, and vapour deposition applications. Furthermore, Druck have sensors specifically designed to operate in the semiconductor industry with SEMI F20 pressure fittings meeting the industry specifications.

Calibration of pressure and flow equipment for the semiconductor industry is essential for high yields and minimal downtime. Druck pressure calibration equipment leads the industry in accuracy, reliability and speed, to provide the efficiency expected in the industry.

注目製品

UNIK5000-UHPは、半導体、太陽エネルギー、LCD/LED製造業界の厳しい要求に応える高性能超高純度圧力センサです。 Druckの信頼性の高いUNIK5000プラットフォームをベースに構築されたこの新しいセンシングソリューションは、清浄性と精度が最重要となる環境において、卓越した精度、長期安定性、堅牢な信頼性を提供します。

ラボおよび製造現場向けのベンチトップ型モジュール式圧力コントローラ。

DPI610Eハンドヘルド圧力校正器は、DPI600ファミリーの最新かつ第6世代のモデルです。DPI610Eは、容易な圧力測定・発生、信号測定、ループ電源機能に加え、大幅に向上したポンプ性能と、タッチパネルおよびボタンによる強力なユーザーインターフェースを兼ね備えています。現場の意見を取り入れて設計された堅牢な本装置は、計装技術者に最適であり、試験および校正用途における理想的なソリューションです。

Druckは1972年以来、産業、航空宇宙、石油・ガス、研究環境 における重要用途 に対応できる精密圧力 センサーを製造してきました。現在もDruckは、お客様の要件に応えるため、圧力 センサーの性能開発と改善に継続的に取り組んで います。 RPS/DPS 8100は、画期的なTERPS テクノロジーを搭載しています。 TERPSは共振シリコン圧力センサー の技術プラットフォームで、現行の標準的な 圧力測定技術と比べて桁違いの 精度と安定性を提供します。 TERPSによる性能・パッケージングの 改善に加…

1972年以来、Druckは産業、航空宇宙、石油・ガス、研究 環境における重要なアプリケーションに対応する能力を備えた 精密圧力センサを製造してきました。Druckは、お客様の 要件を満たすために、圧力センサの性能を継続的に 開発・改善してきました。 RPS/DPS 8000は、10年以上前にTERPS技術を 初めて組み込んだ製品です。TERPSは、現在の 圧力測定技術よりも桁違いに優れた精度と安定性を 提供する共振シリコン圧力センサ技術プラットフォームです。 TERPS技術は、圧力範囲能力を高圧まで拡…

ADROIT6000およびADROIT6200は、高 性能で堅牢な圧力測定 デバイスです。マイクロマシニング・シリコンの優れた機械 特性と 最新のデジタル処理能力を組み合わせ、 この種のデバイスでは従来得られなかった 精度レベルを提供します。ゲージ、 絶対、差圧リファレンスを含む 圧力測定のフルラインアップを 備え、圧力レンジは68 mbar~700 barです。

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