Semiconductor Solutions

The role of semiconductors is vital

The role of semiconductors is vital

Semiconductors are integral components across a wide range of applications and industries. From consumer electronics, communications, and transportation to energy and healthcare, the role of semiconductors is vital to the effective functioning of the products and services society requires for everyday life.

Companies that manufacture semiconductor wafers know firsthand the challenges they face when choosing the correct equipment in their manufacturing units. These organizations want high performance equipment that is accurate, reliable and meets their unique system requirements. Installing sensors with the latest technology into manufacturing and test equipment can greatly benefit semiconductor manufacturing companies.

At Druck we offer pressure sensors, testing equipment and portable calibrators that perform crucial pressure measurement, calibration and control functions in different Semiconductor applications including:

Lithography
Thermal Diffusion/Deposition
Chemical Vapor Deposition
Dry Etching
Chemical Mechanical Polishing
Mass Flow Calibration
Production Lines
Quality Control
Druck’s product range incorporates 50 years’ experience in designing and manufacturing market leading pressure sensing solutions, testing equipment and portable calibrators. We are one of the most capable pressure solution manufacturers in the market and can provide full reliability as Druck controls every part of manufacture-from silicon wafer through to finished product.

Druck’s technology provides peace of mind that you are getting the most accurate data available to help make decisions to keep your business and semiconductor equipment running efficiently.

注目製品

1972年以来、Druckは産業、航空宇宙、石油・ガス、研究 環境における重要なアプリケーションに対応する能力を備えた 精密圧力センサを製造してきました。Druckは、お客様の 要件を満たすために、圧力センサの性能を継続的に 開発・改善してきました。 RPS/DPS 8000は、10年以上前にTERPS技術を 初めて組み込んだ製品です。TERPSは、現在の 圧力測定技術よりも桁違いに優れた精度と安定性を 提供する共振シリコン圧力センサ技術プラットフォームです。 TERPS技術は、圧力範囲能力を高圧まで拡…

Druckは1972年以来、産業、航空宇宙、石油・ガス、研究環境 における重要用途 に対応できる精密圧力 センサーを製造してきました。現在もDruckは、お客様の要件に応えるため、圧力 センサーの性能開発と改善に継続的に取り組んで います。 RPS/DPS 8100は、画期的なTERPS テクノロジーを搭載しています。 TERPSは共振シリコン圧力センサー の技術プラットフォームで、現行の標準的な 圧力測定技術と比べて桁違いの 精度と安定性を提供します。 TERPSによる性能・パッケージングの 改善に加…

UNIK 5000は、圧力測定のための高性能で構成可能なソリューションです。 マイクロマシンシリコン技術とアナログ回路の採用により、 安定性、低消費電力、 周波数応答においてクラス最高の性能を実現しています。この新しいプラットフォームにより、 お客様独自の精密なニーズに合わせて、独自のセンサを 簡単に構築できます。圧力測定に対するこの高性能で構成可能なソリューションは、 モジュール設計とリーン生産方式を 採用しています。

DPI610Eハンドヘルド圧力校正器は、DPI600ファミリーの最新かつ第6世代のモデルです。DPI610Eは、容易な圧力測定・発生、信号測定、ループ電源機能に加え、大幅に向上したポンプ性能と、タッチパネルおよびボタンによる強力なユーザーインターフェースを兼ね備えています。現場の意見を取り入れて設計された堅牢な本装置は、計装技術者に最適であり、試験および校正用途における理想的なソリューションです。

ラボおよび製造現場向けのベンチトップ型モジュール式圧力コントローラ。

Druck独自のTERPS®(溝エッチング共振式圧力センサー)技術を中核に採用したことで、CM3は当社のコントローラーにかつてない計量特性とパフォーマンスをもたらします。 TERPS®は、他の圧力センサーでは類を見ない精度、安定性、信頼性、堅牢性を兼ね備えた共振式シリコン圧力センサー技術プラットフォームです。 TERPS®はセンサーの校正時間を短縮すると同時に、ハードメディアアイソレーションを備えた堅牢な構造により、過酷な環境下でもデータ品質とラボレベルの精度を維持します。

ADROIT6000およびADROIT6200は、高 性能で堅牢な圧力測定 デバイスです。マイクロマシニング・シリコンの優れた機械 特性と 最新のデジタル処理能力を組み合わせ、 この種のデバイスでは従来得られなかった 精度レベルを提供します。ゲージ、 絶対、差圧リファレンスを含む 圧力測定のフルラインアップを 備え、圧力レンジは68 mbar~700 barです。

UNIK5000-UHPは、半導体、太陽エネルギー、LCD/LED製造業界の厳しい要求に応える高性能超高純度圧力センサです。 Druckの信頼性の高いUNIK5000プラットフォームをベースに構築されたこの新しいセンシングソリューションは、清浄性と精度が最重要となる環境において、卓越した精度、長期安定性、堅牢な信頼性を提供します。

RTX2000は、高性能・高信頼性の圧力トランスミッタシリーズです。

DruckのDPI140高精度デジタル気圧インジケーターは、振動筒型圧力センサーを使用して0~3.5 bar絶対圧の読み取りを可能にしていました。トランスファー標準精度は±0.02% rdg ±0.01% FSでした。DruckのDPI 141は…

DPI 142は、データロギングおよび情報システムへの統合を目的に設計された高精度の気圧指示計です。共振式圧力センサを搭載し、長期安定性に優れ、移送校正標準または社内基準として使用できます。気圧測定、バログラフのトレンド、高度表示、リーク試験のための使いやすいメニューを備えています。…

DruckのDPI 145多機能圧力インジケータは、ピエゾ抵抗および共振シリコンセンサ技術を1つの高精度圧力インジケータに統合しました。産業界全体のワークショップやラボでの幅広い用途向けに設計されました。圧力範囲は…

DruckのDPI 150は、正確な圧力測定のために機能し、小型パッケージながら一連の専用圧力機能を備えた強力な汎用性を提供しました。

DruckのDPI 510高精度圧力コントローラ/キャリブレータは、当時の最先端技術とDruckの経験を活かし、あらゆるスケール単位で圧力バルブの表示・制御を行うデジタル圧力計器を実現しました。プログラム可能で汎用性と安定性に優れ、1台で総合的な校正機能を提供できるコントローラでした…

DruckのDPI 515精密圧力コントローラ/キャリブレータは、当時の最新測定・制御技術を1台のコンパクトで機能的な機器に搭載していました。マルチプロセッサ、高度なソフトウェア、エリアディスプレイなどの機能により、DPI515…

DruckのDPI 530デジタル圧力コントローラーは、Druckの圧力指示計と組み合わせて使用できる高速応答デジタルクローズドループ圧力コントローラーでした。DPI 530は、安定した圧力源を必要とするアプリケーション向けの経済的なソリューションでした。測定範囲は…

DruckのDPI 601シリーズポータブルデジタル圧力校正器は、マイクロプロセッサベースの堅牢なポータブルバッテリー駆動機器で、主電源が利用できない遠隔地での使用を想定して設計されました。20 barおよび400 barの圧力発生機能を備え、本質安全防爆仕様も…

DruckのマルチチャンネルDPI 602は、広いダイナミックレンジでの試験が必要な用途でDPI 601シリーズを補完しました。DPI 601の仕様はDPI 602にも適用され、外部トランスデューサ用の追加機能を備えています。

DruckのDPI 603は、当時の堅牢なポータブル電池駆動校正器のラインアップを拡充した、コスト効率に優れたポータブル圧力校正器です。電源のない遠隔地での使用を想定して設計されました。内蔵ハンドポンプにより試験圧力を発生可能です…

DruckのDPI 605高精度ポータブル圧力校正器は、電気計測・電源供給機能、圧力・真空の発生、データ処理などの機能を備えていました。指示値の0.05%の精度を提供し、ゲージ圧で-1~+20 barの範囲に対応しました。

DruckのDPI 610/615ポータブル圧力校正器は発売後、堅牢で現場対応の1台に圧力発生と電気測定を統合したことで、ポータブル圧力校正の業界標準となりました。重くかさばる箱型筐体で電気機能が限定的、旧式ポンプ技術により操作により多くの労力と時間を要した、長年愛用されたWally Boxに代わる製品として…

DruckのPACE5000は、制御技術と測定技術を統合し、自動生産、試験、校正における圧力制御の柔軟なソリューションを提供します。

DruckのPACE6000精密圧力コントローラは、産業用または実験室用途における精密な圧力制御のために設計されました。その汎用性と機能性により、ユーザーは特定の要件に合わせて構成およびカスタマイズすることができました。

DruckのPDCR 10汎用圧力トランスデューサは、高精度で堅牢なオールソリッドステート型トランスデューサでした。水深、差圧、フラッシュ(面一)監視、高レベル出力トランスデューサなど、多彩なオプションを用意。最大70 barのレンジで±0.1% B.S.Lの優れた直線性を実現しました…

DruckのPDCR 120/ WLウェット/ウェット差圧トランスデューサは、加速感度が極めて低く、高速応答を実現していました。35 barまでのレンジにおいて、±0.1% B.S.L.という優れた直線性を提供していました。

DruckのPDCR 130シリーズ(増幅出力圧力トランスデューサ)は、最新のシリコンひずみゲージ・ダイアフラム、電子式温度補償および直線化技術を採用した、高レベル出力圧力トランスデューサのフルレンジ製品です。全レンジで±0.1% B.S.L.の優れた直線性とヒステリシス…

DruckのPDCR 2100シリーズ差圧トランスデューサは、多くの産業およびプロセス用途で見られる化学的に腐食性の高い圧力媒体での使用に適していました。過酷な動作環境において正確で信頼性の高い性能を提供し、圧力変化への迅速な応答が求められる用途に適して…

DruckのPDCR 450 CANbus デジタル出力圧力トランスデューサは、CANbusシリアル通信インターフェースを備えた最先端のデジタル出力圧力トランスデューサでした。最適なトランスデューサ性能が不可欠で、かつお客様固有の要件にも対応できる多くの用途に最適でした。100mbar~700 barのレンジに対応し、広い温度範囲で高精度を実現しました…

DruckのPDCR 800汎用圧力トランスデューサは、優れた直線性とヒステリシス、高い過負荷耐性、合理化された出力、良好な熱安定性を提供しておりました。各トランスデューサは、高性能圧力センサコアと高精度圧力トランスデューサをベースとし、優れた性能を発揮しておりました。

DruckのPDCR 900シリーズは、産業およびプロセス用途向けに特別に開発されました。各ユニットには高性能シリコンマイクロマシンセンサが組み込まれています。優れた直線性およびヒステリシス、絶対圧およびゲージ圧のレンジ、さらに圧力および電気の…

DruckのPMP 2000増幅出力圧力トランスデューサは、過酷な産業環境での使用を想定して設計されており、システムへの直接統合が可能な高レベル電圧出力を備えています。幅広い圧力継手および電気接続の選択肢により、要件に合わせたカスタマイズが可能…

DruckのPMP 317シリーズ車載用圧力トランスデューサは、自動車試験用途における極端な温度、振動、衝撃レベルに耐えるよう設計されています。用途は燃料系、トランスミッション、マニホールドおよびターボ圧、空調、ブレーキ系、クランクケース圧など。レンジは…

DruckのPMP 4000増幅出力圧力トランスデューサは、当時最新の高レベル出力圧力トランスデューサ製品群でした。このシリーズは、産業用および自動車用テストセル市場の需要を満たすよう設計されていました。±0.04%の精度を提供し…

Druck PTX500シリーズ圧力センサプラットフォームは、産業用途に必要な材料と環境保護を備えた、正確で安定した圧力トランスミッタを提供しました。測定範囲は1.5 psi(100 mbar)から10,000 psi(700 bar)、精度は±0.20%フルスケール(FS)…

Druck PTX600は、産業および研究環境における重要なアプリケーション向けに設計されました。高い安定性、汎用性、測定精度を提供します。±0.08%フルスケール (FS) 最良直線 (BSL) 精度を実現し、1.5 (100 mbar) から…

Druckは、圧力トランスデューサに共振構造を用いる著名な技術を確立し、1990年代に共振式圧力トランスデューサシリーズを開発しました。シリコンの採用により、低い製造コストで高精度・高安定性を実現。OEMまたは産業用途の形態での使用を想定して設計され…

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