UNIK5000-UHP

UNIK5000-UHPは、半導体、太陽エネルギー、LCD/LED製造業界の厳しい要求に応える高性能超高純度圧力センサです。 Druckの信頼性の高いUNIK5000プラットフォームをベースに構築されたこの新しいセンシングソリューションは、清浄性と精度が最重要となる環境において、卓越した精度、長期安定性、堅牢な信頼性を提供します。

説明

UNIK5000-UHPは、クリーンルーム製造、最先端技術、実証済みの信頼性を組み合わせており、最高品質を求めるエンジニアやOEMに選ばれています。

広範な圧力範囲:絶対圧、ゲージ圧、シールドゲージ圧オプションで、1 barから350 barまでの圧力範囲に対応し、最大1200 barの過圧保護を備えています。
卓越した精度:精度向上のための±0.1% FS BSL、または産業グレード性能のための±0.2% FS BSLをご用意しています。
広範な温度範囲:–40°Cから+125°C(–67°Fから+257°F)で動作し、極限環境に最適です。
高安定性:ピエゾ抵抗技術により、±0.05% FS/年の標準的な長期安定性を実現します。
超高純度設計:SEMI HP/UHP規格に準拠して製造されています。
高速応答時間:30ミリ秒未満で起動し、リアルタイムプロセス制御を実現します。
柔軟な出力オプションとカスタマイズ:4–20 mA、0–5 V、0–10 V、またはカスタム設定可能な出力から、システムアーキテクチャに適したものを選択できます。
危険区域認証:本質安全環境での使用に対応したIECEx、ATEX、FM、NEPSI認証を取得しています。

産業分野

半導体

半導体の果たす重要な役割 半導体は、幅広い用途や業界に欠かせない構成部品です。家電、通信、輸送からエネルギー、ヘルスケアに至るまで、半導体は社会の日常生活に必要な製品やサービスを効果的に機能させるうえで重要な役割を担っています。 半導体ウェーハを製造する企業は、製造ユニットに適切な機器を選定する際の課題を身をもって理解しています。こうした企業は、正確で信頼性が高く、独自のシステム要件を満たす高性能な機器を求めています。製造装置や試験装置に最新技術を搭載したセンサを導入することで、半導体製造企業は大きなメ…

エレクトロニクス製造

製造には精密な圧力制御が不可欠です Druckは、高精度圧力測定・校正ソリューションの世界的リーダーとして認められており、その製品はエレクトロニクス製造で幅広く使用されています。電子機器生産のさまざまな工程において、精度、信頼性、規格適合を確保するために欠かせない存在です。 Druckの中核製品は、ピエゾ抵抗式およびTERPS(Trench Etched Resonant Pressure Sensor)技術を含む高性能圧力センサです。これらのセンサは、LEDディスプレイや太陽電池パネルの製造など、精密…

ウェーハ製造

Druckは半導体業界向けに特別に設計されたセンサを提供しています Druckは、シリコンウェーハ製造、半導体製造、太陽光発電モジュール組立向けの重要装置OEMに、高性能圧力センサおよび圧力モジュールを供給してきた確かな実績があります。Druck独自の高精度かつ高安定な圧力センシング技術は、厳しいシリコン製造プロセスに必要な性能を発揮するものとして高く評価されています。カスタマイズソリューションを提供できるDruckの能力により、ガス供給、マスフローコントローラ、圧力コントローラ、リソグラフィ、エッチン…

アプリケーション

圧力センシング

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