ウェーハ製造ソリューション

Druckは、シリコンウェーハ製造、半導体製造、太陽光発電パネル組立向けの重要装置を供給するOEMに、高性能な圧力センサと圧力モジュールを提供してきた確かな実績があります。

Druck独自の高精度かつ高安定な圧力センシング技術は、厳しいシリコン製造プロセスに必要な性能を提供するものとして高く評価されています。カスタマイズソリューションを提供できるDruckの能力により、ガス供給、マスフローコントローラ、圧力コントローラ、リソグラフィ、エッチング、ウェーハ冷却、気相成膜の各用途向けに、圧力センシング技術を長期にわたり供給してきました。さらにDruckは、業界仕様を満たすSEMI F20圧力継手を備えた、半導体業界向けに特化して設計されたセンサも提供しています。

半導体業界における圧力・流量機器の校正は、高い歩留まりとダウンタイムの最小化に不可欠です。Druckの圧力校正機器は、精度、信頼性、速度で業界をリードし、業界が求める効率性を実現します。