Solutions pour la fabrication de wafers

Druck propose des capteurs spécialement conçus pour fonctionner dans l’industrie des semi-conducteurs

Druck bénéficie d’une solide expérience dans la fourniture de capteurs et de modules de pression hautes performances aux OEM d’équipements critiques destinés à la fabrication de wafers de silicium, à la production de semi-conducteurs et à l’assemblage photovoltaïque.

Les technologies de détection de pression uniques de Druck, d’une grande précision et d’une grande stabilité, sont reconnues pour offrir les performances nécessaires aux procédés exigeants de fabrication du silicium. La capacité de Druck à fournir des solutions personnalisées lui a permis d’assurer un approvisionnement à long terme en technologies de détection de pression pour la distribution de gaz, les régulateurs de débit massique, les contrôleurs de pression, la lithographie, la gravure, le refroidissement des wafers et le dépôt en phase vapeur. En outre, Druck propose des capteurs spécialement conçus pour l’industrie des semi-conducteurs, avec des raccords de pression SEMI F20 conformes aux spécifications du secteur.

L’étalonnage des équipements de pression et de débit pour l’industrie des semi-conducteurs est essentiel pour garantir des rendements élevés et des temps d’arrêt minimaux. Les équipements d’étalonnage de pression Druck sont leaders du secteur en matière de précision, de fiabilité et de rapidité, pour offrir l’efficacité attendue par l’industrie.

Produits phares

Depuis 1972, Druck fabrique des capteurs de pression de précision capables de répondre aux applications critiques dans les secteurs de l’industrie, de l’aérospatiale, du pétrole et du gaz, et de la recherche . Druck s’est continuellement efforcé de dével…

Depuis 1972, Druck fabrique des capteurs de pression de précision capables de répondre aux applications critiques dans les environnements industriels, aéronautiques, pétroliers et gaziers, ainsi que de recherche. Aujourd’hui, Druck n’a cessé de travaille…

Le calibrateur de pression portable DPI610E est le dernier, et la sixième génération, de la famille DPI600. Le DPI610E combine la mesure et la génération de pression sans effort, la mesure de signal et l’alimentation de boucle, avec des capacités de pomp…

Contrôleur de pression modulaire de paillasse pour une utilisation en laboratoire et en production.

Grâce à l’intégration de la technologie TERPS® (Trench Etched Resonant Pressure Sensor) éprouvée de Druck en son cœur, le CM3 offre des caractéristiques métrologiques inédites et des niveaux de performance inégalés pour nos contrôleurs. TERPS® est une pl…

Les ADROIT6000 et ADROIT6200 sont des dispositifs de mesure de pression robustes et hautes performances. Ils combinent les meilleures propriétés mécaniques du silicium microusiné avec les dernières capacités de traitement numérique pour offrir des niveau…

Le UNIK5000-UHP est un capteur de pression ultra-haute pureté haute performance conçu pour répondre aux exigences rigoureuses des industries de fabrication de semi-conducteurs, d'énergie solaire et de LCD/LED. Basée sur la plateforme éprouvée UNIK5000 de…

L’indicateur barométrique numérique de précision DPI140 de Druck utilisait un capteur de pression à cylindre vibrant pour fournir une lecture de pression absolue entre 0 et 3,5 bar absolus. Il avait une précision d'étalon de transfert de ±0,02 % de la le…

Le DPI 142 était un indicateur barométrique de haute précision conçu pour l'intégration dans les systèmes d'acquisition de données et d'information. Doté d'un capteur de pression résonant, il offrait une stabilité à long terme et pouvait servir d'étalon …

L'indicateur de pression multifonction DPI 145 de Druck combinait les technologies de capteurs piézorésistifs et à silicium résonant en un seul indicateur de pression de haute précision. Il était conçu pour une large gamme d'applications dans les atelier…

Le DPI 150 de Druck assurait une mesure de pression précise, offrant une polyvalence remarquable dans un format compact avec une gamme de fonctions de pression dédiées.

Le contrôleur/étalonneur de pression de précision DPI 510 de Druck utilisait les techniques de pointe de son époque, ainsi que l’expérience de Druck, pour fournir un instrument de pression numérique indiquant et contrôlant des vannes de pression dans n’i…

Le contrôleur/calibrateur de pression de précision DPI 515 de Druck offrait la toute dernière technologie de mesure et de contrôle de l’époque, intégrée dans un instrument compact et fonctionnel. Plusieurs processeurs, un logiciel avancé et son écran gra…

Le contrôleur de pression numérique DPI 530 de Druck était un contrôleur de pression à boucle fermée numérique à réponse rapide qui pouvait être utilisé en combinaison avec les indicateurs de pression de Druck. Le DPI 530 était une solution économique po…

La série DPI 601 de calibrateurs de pression numériques portables de Druck était composée d'instruments robustes, portables et alimentés par batterie, basés sur un microprocesseur et conçus pour être utilisés dans des endroits éloignés où l'alimentation …

Le DPI 602 multicanal de Druck complétait la série DPI 601 lorsque des tests à large plage dynamique sont requis. Les spécifications du DPI 601 s’appliquaient également au DPI 602, avec les fonctionnalités supplémentaires pour les transducteurs externes.

Le DPI 603 de Druck était un calibrateur de pression portable économique qui a étendu la gamme des calibrateurs portables robustes et alimentés par batterie de Druck de l'époque. Il a été conçu pour une utilisation dans des endroits éloignés sans aliment…

Les fonctionnalités du calibrateur de pression portable de précision DPI 605 de Druck comprenaient la mesure et l'alimentation électrique, la génération de pression et de vide ainsi que le traitement des données. Il offrait une précision de 0,05 % de la …

Les calibrateurs de pression portables DPI 610/615 de Druck ont été lancés et ces modèles sont devenus des standards de l'industrie pour l'étalonnage de pression portable, car ils combinaient la génération de pression et la mesure électrique dans une seu…

Le PACE5000 de Druck a réuni les technologies de contrôle et de mesure pour offrir des solutions flexibles de contrôle de pression pour la production automatisée, les essais et l'étalonnage.

Le régulateur de pression de précision PACE6000 de Druck a été conçu pour un contrôle précis de la pression dans les applications industrielles ou de laboratoire. Sa polyvalence et ses fonctionnalités permettaient aux utilisateurs de le configurer et de …

Le transducteur de pression à sortie numérique PDCR 450 CANbus de Druck était un transducteur de pression à sortie numérique de pointe, doté d’une interface de communication série CANbus. Il était idéal pour de nombreuses applications où des performances…

Le transducteur de pression à sortie amplifiée PMP 4000 de Druck était, à son époque, la gamme la plus récente de transducteurs de pression à sortie niveau. Cette gamme était conçue pour répondre aux exigences des bancs d’essai industriels et automobiles…

Druck a mis au point la technologie reconnue des structures résonantes dans les transducteurs de pression et a développé sa série de transducteurs de pression résonants dans les années 1990. Le silicium a été utilisé pour offrir une précision et une stab…

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