Wafer Fabrication Solutions

Druck have sensors specifically designed to operate in the semiconductor industry

Druck have a strong pedigree providing high performance pressure sensors and pressure modules into critical equipment OEM supplying silicon wafer fabrication, semiconductor manufacturing and photovoltaic assembly.

Druck’s unique high precision and highly stable pressure sensing technologies are highly regarded to provide the necessary performance in demanding silicon fabrication processes. Druck’s capability to provide customised solutions has resulted in long term supply of pressure sensing technology for use in gas delivery, mass flow controllers, pressure controllers, lithography, etching, wafer cooling, and vapour deposition applications. Furthermore, Druck have sensors specifically designed to operate in the semiconductor industry with SEMI F20 pressure fittings meeting the industry specifications.

Calibration of pressure and flow equipment for the semiconductor industry is essential for high yields and minimal downtime. Druck pressure calibration equipment leads the industry in accuracy, reliability and speed, to provide the efficiency expected in the industry.

特色产品

自 1972 年以来,Druck 一直致力于制造精密压力 传感器,能够满足工业、航空航天、石油天然气和研究 环境中的关键应用 需求。Druck 不断努力开发和改进 压力传感器的性能,以满足 客户的需求。 RPS/DPS 8000 是 10 多年前首款采用 TERPS 技术的产品。TERPS 是一种谐振硅 压力传感器技术平台,其精度和稳定性比目前的 压力测量技术 提高了一个数量级。 TERPS 技术 还将压力范围扩展至高压, 并通过采用真正的压力介质隔离,大大 提高了其在严苛环境下的适用性。 除了提供 T…

自 1972 年以来,Druck 一直致力于制造精密压力 传感器,能够满足工业、航空航天、石油天然气和研究 环境中的关键应用 。今天,Druck 不断努力 开发和改进压力 传感器的性能,以满足客户的需求。 RPS/DPS 8100 采用了突破性的 TERPS 技术。 TERPS 是一种谐振硅压力传感器 技术平台,其精度和稳定性比目前的标准 压力测量技术高出一个数量级 。 除了提供 TERPS 带来的性能和封装 改进外,RPS/DPS 8100 产品线还利用最佳实践提供 广泛的压力和电气连接,从而针对您的…

DPI610E 手持式压力校验仪是 DPI600 系列的最新产品,也是第六代产品。DPI610E 将轻松的压力测量与生成、信号测量和回路电源相结合,显著提升了泵送能力,并配备了强大的触摸加按键用户界面。该装置采用坚固的设计,根据现场工作人员的反馈为仪器技术人员量身打造。它是您测试和校准应用的理想解决方案。

用于实验室和生产的台式模块化压力控制器。

由于核心采用了 Druck 成熟的 TERPS®(沟槽蚀刻谐振压力传感器)技术,CM3 为我们的控制器提供了前所未有的计量特性和性能水平。 TERPS® 是一种谐振硅压力传感器技术平台,集精度、稳定性、可靠性和强度于一体,是同类压力传感器无法比拟的。 TERPS® 缩短了校准传感器所需的时间,而采用硬介质隔离的坚固结构即使在最恶劣的环境下也能保护数据质量和实验室级精度。

ADROIT6000 和 ADROIT6200 是高 性能、坚固耐用的压力测量 设备。它们结合了微加工硅的卓越机械 特性与 最新的数字处理能力,提供了 此类设备以前无法达到的 精度水平。它们提供全套 压力测量,包括表压、 绝压和差压参考,以及 从 68 mbar 到 700 bar 的压力范围。

UNIK5000-UHP 是一款高性能、超高纯度压力传感器,旨在满足半导体、太阳能以及 LCD/LED 制造行业的严苛需求。 该新型传感解决方案基于 Druck 备受信任的 UNIK5000 平台,在清洁度和精度至关重要的环境中提供卓越的精度、长期稳定性和强大的可靠性。

Druck 的 DPI140 精密数字大气压力指示仪采用振筒式压力传感器,提供 0 至 3.5 bar 绝压之间的绝对压力读数。其传递标准精度为读数的 ±0.02% ±0.01% FS。Druck 的 DPI 141 提供……

DPI 142 是一款高精度大气压力指示仪,专为集成到数据记录和信息系统而设计。它采用谐振式压力传感器,具有长期稳定性,可用作传递校准标准或公司参考标准。用户友好型菜单支持……

Druck 的 DPI 145 多功能压力指示仪将压阻式和谐振硅传感器技术结合到一台高精度压力指示仪中。它专为工业领域的各种车间和实验室应用而设计。它提供的压力……

Druck 的 DPI 150 用于精确的压力测量,外形小巧,功能强大,具备一系列专用压力功能。

Druck 的 DPI 510 精密压力控制器/校准器采用了当时最先进的技术以及 Druck 的丰富经验,提供了一种能够以任何刻度单位指示和控制压力阀的数字压力仪表。它是一款……

Druck 的 DPI 515 高精度压力控制器/校验仪集成了当时最先进的测量和控制技术,并整合于一台紧凑且功能齐全的仪器中。多处理器、先进软件及其区域显示是使 DPI515 成为……的部分特性。

Druck 的 DPI 530 数字压力控制器是一款快速响应的数字闭环压力控制器,可与 Druck 的压力指示仪配合使用。DPI 530 是需要稳定压力源应用的经济型解决方案。它…

Druck 的 DPI 601 系列便携式数字压力校验仪是基于微处理器的坚固耐用型便携式电池供电仪器,专为无法提供市电的偏远地区使用而设计。它提供 20 bar 和 400 bar 的压力产生能力,并提供本安……

Druck 的多通道 DPI 602 补充了 DPI 601 系列,适用于需要宽动态范围测试的场合。DPI 601 的规格也适用于 DPI 602,并增加了外部传感器的辅助设施。

Druck 的 DPI 603 曾是一款性价比高的便携式压力校验仪,扩展了当时 Druck 耐用型便携式电池供电校验仪的范围。它专为无电源的偏远地区使用而设计。它能够通过内置手泵产生测试压力……

Druck DPI 605 精密便携式压力校验仪的功能包括电信号测量和输出能力、压力 and 真空产生以及数据处理。其读数精度为 0.05%,量程范围为 -1 至 +20 bar 表压。

Druck 的 DPI 610/ 615 便携式压力校验仪一经推出,便成为便携式压力校准的行业标准,因为它们将压力发生与电信号测量结合在一个坚固耐用、适合现场使用的装置中。它取代了备受喜爱的 Wally Box,后者……

Druck 的 PACE5000 融合了控制与测量技术,为自动化生产、测试和校准提供灵活的压力控制解决方案。

Druck 的 PACE6000 精密压力控制器专为工业或实验室应用中的精确压力控制而设计。其多功能性允许用户根据特定要求进行配置和定制。

Druck 的 PDCR 450 CANbus 数字输出压力传感器是一款先进的数字输出压力传感器,具有 CANbus 串行通信接口。它非常适合需要最佳传感器性能且能满足客户特定需求的……

Druck 的 PMP 4000 放大输出压力传感器是当时最先进的电平输出压力传感器系列。该系列旨在满足工业和汽车测试台市场的需求。它提供 ±0.04% 的精度,且……

Druck 开发了在压力传感器中使用谐振结构的知名技术,并于 20 世纪 90 年代开发了其谐振式压力传感器系列。采用硅材料以实现高精度和高稳定性,且制造成本低。它的设计……

准备好了解更多信息了吗?
立即联系我们!