Wafer Fabrication Solutions

Druck have sensors specifically designed to operate in the semiconductor industry

Druck have a strong pedigree providing high performance pressure sensors and pressure modules into critical equipment OEM supplying silicon wafer fabrication, semiconductor manufacturing and photovoltaic assembly.

Druck’s unique high precision and highly stable pressure sensing technologies are highly regarded to provide the necessary performance in demanding silicon fabrication processes. Druck’s capability to provide customised solutions has resulted in long term supply of pressure sensing technology for use in gas delivery, mass flow controllers, pressure controllers, lithography, etching, wafer cooling, and vapour deposition applications. Furthermore, Druck have sensors specifically designed to operate in the semiconductor industry with SEMI F20 pressure fittings meeting the industry specifications.

Calibration of pressure and flow equipment for the semiconductor industry is essential for high yields and minimal downtime. Druck pressure calibration equipment leads the industry in accuracy, reliability and speed, to provide the efficiency expected in the industry.

Featured Products

Seit 1972 fertigt Druck Präzisionsdruck sensoren, die kritische Anwendungen in Industrie, Luft- und Raumfahrt, Öl und Gas sowie in Forschungs umgebungen erfüllen. Druck hat kontinuierlich daran gearbeitet, die Leistung unserer Drucksensoren zu entwickeln…

Seit 1972 fertigt Druck Präzisions-Drucksensoren für kritische Anwendungen in den Bereichen Industrie, Luft- und Raumfahrt, Öl und Gas sowie Forschung. Heute arbeitet Druck kontinuierlich daran, die Leistung unserer Drucksensoren weiterzuentwickeln und z…

Der Hand-Druckkalibrator DPI610E ist die neueste und sechste Generation der DPI600-Serie. Der DPI610E kombiniert mühelose Druckmessung und -erzeugung, Signalmessung und Schleifenspeisung mit deutlich verbesserten Pumpenfunktionen und einer leistungsstark…

Modularer Tisch-Druckcontroller für Labor- und Produktionseinsatz.

Dank der Integration der von Druck entwickelten TERPS® (Trench Etched Resonant Pressure Sensor)-Technologie im Kern bietet CM3 beispiellose messtechnische Eigenschaften und daraus resultierende Leistungsniveaus für unsere Regler. TERPS® ist eine Technolo…

Der ADROIT6000 und ADROIT6200 sind hochleistungsfähige, robuste Druckmessgeräte. Sie kombinieren die besten mechanischen Eigenschaften von mikrobearbeitetem Silizium mit modernster digitaler Verarbeitungsfähigkeit, um Genauigkeitsniveaus zu bieten, die b…

UNIK5000-UHP ist ein Hochleistungs-Drucksensor mit ultrahochreiner Ausführung, der die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiter-, Solarenergie- und LCD/LED-Fertigungsindustrie erfüllt. Basierend auf Drucks bewährter UNIK5000-Plattform liefert diese n…

Drucks hochpräzises digitales barometrisches Druckanzeigegerät DPI140 verwendete einen Schwingzylinder-Drucksensor, um den Absolutdruck im Bereich von 0 bis 3,5 bar absolut anzuzeigen. Es hatte eine Transfernormal-Genauigkeit von ±0,02 % vom Messwert ±0,…

Das DPI 142 war ein hochpräzises barometrisches Anzeigegerät, das für die Integration in Datenprotokollierungs- und Informationssysteme konzipiert wurde. Mit einem resonanten Drucksensor bot es Langzeitstabilität und konnte als Transfer-Kalibrierstandard…

Der Multifunktions-Druckanzeiger DPI 145 von Druck kombinierte piezoresistive und resonante Silizium-Sensortechnologien in einem hochpräzisen Druckanzeiger. Er wurde für den Einsatz in einem breiten Anwendungsspektrum in Werkstätten und Laboren in der ge…

Das DPI 150 von Druck diente zur präzisen Druckmessung und bot dabei leistungsstarke Vielseitigkeit in einem kompakten Gehäuse mit einer Reihe spezieller Druckfunktionen.

Der Präzisions-Druckregler/-Kalibrator DPI 510 von Druck nutzte die damals modernsten Techniken sowie die Erfahrung von Druck, um ein digitales Druckinstrument bereitzustellen, das Druckwerte in beliebigen Skaleneinheiten anzeigte und regelte. Es war ein…

Der Präzisionsdruckregler/-kalibrator DPI 515 von Druck bot die damals neueste Mess- und Regelungstechnologie, integriert in einem kompakten, funktionalen Instrument. Mehrere Prozessoren, fortschrittliche Software und seine Bereichsanzeige waren einige d…

Der digitale Druckregler DPI 530 von Druck war ein schnell ansprechender, digitaler Druckregler mit geschlossenem Regelkreis, der in Kombination mit den Druckanzeigen von Druck verwendet werden konnte. Der DPI 530 war eine wirtschaftliche Lösung für Anwe…

Die DPI 601-Serie von Druck für tragbare digitale Druckkalibratoren bestand aus mikroprozessorgesteuerten, robusten, tragbaren batteriebetriebenen Geräten, die für den Einsatz an entlegenen Standorten ohne Netzstromversorgung konzipiert waren. Sie bot Dr…

Der Mehrkanal-DPI 602 von Druck ergänzte die DPI 601-Serie dort, wo Prüfungen mit großem Dynamikbereich erforderlich sind. Die Spezifikationen des DPI 601 galten auch für den DPI 602, mit zusätzlichen Funktionen für externe Messwertaufnehmer.

Der DPI 603 von Druck war ein kostengünstiger tragbarer Druckkalibrator, der die Reichweite der robusten, tragbaren, batteriebetriebenen Kalibratoren von Druck aus dieser Zeit erweiterte. Er wurde für den Einsatz an abgelegenen Orten ohne Stromversorgung…

Zu den Funktionen des präzisen tragbaren Druckkalibrators DPI 605 von Druck gehörten elektrische Mess- und Speisefunktionen, Druck- und Vakuumerzeugung sowie Datenverarbeitung. Er bot eine Genauigkeit von 0,05 % vom Messwert und deckte einen Bereich von …

Druck brachte die tragbaren Druckkalibratoren DPI 610/615 auf den Markt; diese Modelle wurden zum Industriestandard für die mobile Druckkalibrierung, weil sie Druckerzeugung und elektrische Messung in einem robusten, felddiensttauglichen Gerät kombiniert…

Drucks PACE5000 vereinte Regel- und Messtechnik, um flexible Lösungen für die Druckregelung in automatisierter Produktion, Prüfung und Kalibrierung zu bieten.

Der Präzisionsdruckregler PACE6000 von Druck wurde für die präzise Druckregelung in industriellen oder Laboranwendungen entwickelt. Seine Vielseitigkeit und Funktionalität ermöglichten es Anwendern, ihn zu konfigurieren und anzupassen, um spezifische Anf…

Drucks PDCR 450 CANbus-Druckaufnehmer mit digitalem Ausgang war ein hochmoderner Druckaufnehmer mit digitalem Ausgang und CANbus-Schnittstelle für serielle Kommunikation. Er war ideal für viele Anwendungen, bei denen optimale Aufnehmerleistung entscheide…

Der PMP 4000 Druckmessumformer mit verstärktem Ausgang von Druck war seinerzeit die neueste Reihe von Druckmessumformern mit Pegelausgang. Die Reihe war für die Anforderungen des industriellen Marktes und von Prüfständen in der Automobilindustrie konzipi…

Druck entwickelte die bekannte Technologie der Verwendung resonanter Strukturen in Druckmessumformern und brachte in den 1990er Jahren seine Serie resonanter Druckmessumformer auf den Markt. Silizium wurde verwendet, um eine hohe Genauigkeit und Stabilit…

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